什么是半導體參數分析儀

半導體參數分析儀（器件分析儀）是一種集多種測量和分析功能于一體的測試儀器，可準確執行電流-電壓（IV）和電容測量（CV（電容-電壓）、C - f（電容-頻率）以及 C – t（電容-時間）測量），并快速、輕松地對測量結果進行分析，完成半導體參數測試。半導體參數測試是確定半導體器件特征及其制造過程的一項基礎測量。在參數測試中，通常需要進行 IV 測量，包括分辨率低至 fA（毫微微安培）的小電流測量和高達 1 MHz 的CV 測量，并對主要特征/參數進行分析。雖然半導體參數分析儀的設計初衷是進行半導體評測，但因其優越的性能、強大的功能以及出色的易操作性，現已在各種材料、器件和電子器件的 IV 和 CV 表征中得到廣泛應用。

半導體參數分析儀可為表征任務提供更高的性能、更強的可用性以及更高的效率。參數分析儀集多種測量資源于一身，可輕松進行 IV 和 CV 測量，無需匯集或集成多種儀器，例如電源、電壓表、電流表、LCR 表、開關矩陣等。參數分析儀的主要測量元器件是電源/測量單元（SMU）。SMU 是一種將電壓/電流源功能和電壓/電流表功能結合于單一模塊中的測量模塊。由于該參數分析儀將電源和測量電路緊密集成，所以相比使用多種獨立儀器進行相同測量來說，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的測量誤差。

此外，參數分析儀還具有分析功能，使您無需借助外部 PC 便可快速地交互檢查和分析顯示屏上的測量結果。由于半導體參數分析儀具有多種功能，因此適用于從探索分析到自動測試的各種測量環境。