能譜分析儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E，能譜分析儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。探頭：一般為Si(Li)鋰硅半導體探頭探測面積：幾平方毫米分辨率（MnKa）：～133eV探測元素范圍：Be4～U92
