絕對位置輸出
位移傳感器的輸出是相對于一個絕對（固定）參考點的位置，傳感器斷電再恢復供電時，無需復位，不像一般增量式位移傳感器（如增量式編碼器，增量式光柵尺），斷電后需要進行系統復位，才能繼續測量。
非線性度
沿位移傳感器的測量行程上，位置磁鐵的顯示位置值與真值的差異。在磁致伸縮位移傳感器中，這種變化是由在波導介質信號傳播的非線性引起的。非線性度通常以絕對誤差或占有效行程長度的百分比來表示。
重復精度
沿著行程測量時，當磁鐵從相同的方向重復到達同一位置時，傳感器輸出的差值。
非接觸式測量
磁致伸縮式位移傳感器、LVDT位移傳感器、電渦流傳感器采用非接觸的磁感應測量工作原理，因此在產品全壽命期內不存在機械磨損問題，同時這種測量方式可以有效消除由于振動造成的測量誤差，提高傳感器的可靠性和使用壽命。
分辨率
指傳感器測量輸出值最末位數所代表的位移量。
滯后
這里指磁環或者測桿沿測量行程方向，達到并超過某一位置后，又反向通過該位置時，兩次測量輸出值間的差值。大部分類型傳感器的實際滯后非常小，在大多數應用中均可忽略不計。
電氣防護等級
國際電子技術總會（International Electrotechnical Commission）所發出有關的對外殼侵入保護的IP（Ingress Protection）標準。有關IP 標準的詳細說明，請參考IEC的官方網站。
量程
量程指位移傳感器實際可用的檢測區域，通常在訂貨編號有明確的表示。由于存在首、末端測量盲區，檢測長度（行程）一定短于傳感器的總長。
溫漂
溫漂是指在傳感器在工作環境溫度發生變化后，被測量不變，而測量輸出值發生變化的現象。在標示工作溫度范圍內使用，傳感器的溫漂幾乎都可以忽略不計。
溫度系數
是指當被測目標位置不變時，環境溫度每改變1℃，傳感器輸出值的變化量。溫度系數單位為ppm/℃（百萬分之一每攝氏度）。