隨著科學技術的飛速發展，大型非球面光學系統在天文觀測和空間光學等領域得到了越來越廣泛的應用，已成為當前和未來相當長時間內光學系統發展的主流。然而，大型非球面（尤其是凸非球面）的在位檢測非常困難，是制約此類光學系統發展的技術瓶頸之一。針對此問題，國內外相關研究的一個熱點是如何應用擺臂式輪廓檢測技術進行高精度的在位檢測。
中國科學院光電技術研究所景洪偉課題組的科研人員，在擺臂式輪廓儀旋轉軸空間狀態標定技術研究中開發了一種利用四臺激光跟蹤儀的高精度測距信息解算高精度空間待測點三維坐標的技術，解決了使用單臺激光跟蹤儀對擺臂式輪廓儀旋轉軸空間狀態進行標定時精度偏低的問題。他們開展了四臺激光跟蹤儀的空間布局研究和測量算法研究，將測量不確定度從U=11.8″提升到U=2.4″。在此基礎上，形成首臺基于擺臂式輪廓檢測技術的工程實用化樣機，可滿足實際工程測量的要求。目前，國內尚未有此類工程化實用樣機的報道。
以上研究工作得到了國家“863”計劃、西部之光計劃的資助。
各有關單位：半導體行業是一個技術密集型的行業，其生產工藝復雜，設備精密度要求高，整體流程涉及到成百上千道工序。隨著半導體制造工藝越來越高，其制造灘度及品質管控也在呈指數級增長。因此，對材料純度、制造精......
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培訓背景1）了解“十四五”重大科學儀器重點研發計劃實施方案及年度n指南提出的第三方測試、可靠性與技術就緒度相關要求；2）研討“十四五”儀器專項責任專家提出的“異地第三方測試”新要求的落實方式方法；3）......