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    發布時間:2021-06-25 14:26 原文鏈接: 關于真空測量的相關概述

      氣體的稀薄程度也可以用氣體分子密度(單位容積中氣體分子數)n來描述。對于完全平衡態的理想氣體分子,P=nkT,k為玻耳茲曼常數,T為絕對溫度。測量真空度的裝置稱為真空計,真空計的壓強敏感元件稱為規頭。某些真空計可直接測量氣體總壓強,某些真空計雖然也給出壓強讀數,而實際測量的是氣體分子密度,測量結果與環境溫度有關。當容器中同時存在多種氣體成分時,容器中氣體總壓強等于各氣體分壓強之和。總壓強測量方法可分為直接法和間接法兩種。直接法利用液柱差、機械變形等原理直接測量壓強,包括液位壓強計、壓縮式真空計、彈性元件真空計等。根據前兩種儀器測出的物理量可算出壓強值,屬于絕對真空計。間接法利用氣體某些物理性質(如熱傳導、粘滯性、電離及光散射效應等)來測量壓強,包括熱傳導真空計、粘滯真空計及電離真空計等。在真空技術中使用的真空計絕大多數采用間接法,這些真空計必須用絕對真空計或其他方法校準。對于用間接法測量的真空計,由于不同種類氣體的物理性質不同,即使在相同壓強下,壓強讀數也隨氣體而異,因此要用相應的氣體來校準。當被測氣體不是單一成分時,這些真空計的讀數的含義較為復雜。由于一般真空計校準時所采用的氣體是純氮,因此這些真空計的讀數在未經氣體種類修正之前統稱為等效氮壓強。當被測空間包含多種氣體成分時,只有通過分壓強測量才能精確地反映容器中的真空狀態和總壓強

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