所有的真空質譜計都具有三個組成部分:離子源、分析器和離子檢測器。按分析器工作原理的不同,真空質譜計可歸納為以下四類:
第一類:磁偏轉質譜計。在一定的入射速度下,根據不同質荷比的離子在磁場中偏轉半徑的不同來進行質量分離的質譜計。
第二類:飛行時間質譜計。在這種儀器中,給定能量(或動能)的不同質荷比的離子按其通過漂移管的時間不同而進行質量分離。
第三類:能量平衡質譜計。根據離子在振蕩電場中運動時其動能變化的不同而進行質量分離的儀器。屬于這類的儀器有:射頻質譜計和回旋質譜計。
第四類:穩定性質譜計。當不同質荷比的離子在分析場內作振蕩運動時,按其相位或軌跡的穩定與否進行質量分離的儀器。屬于這類的儀器有:線振質譜計、四極質譜計、單極質譜計和三維四極離子阱。
從擺線質譜計的工作原理來看,可將它與磁偏轉質譜計歸于同一類。所不同的是,擺線質譜計的分析場是采用直流電場和恒定磁場的復合場。
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