各類真空泵適用的工藝類型

隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。使用企業需根據各自的使用工況、真空度要求等方面因素考慮如何選取真空泵。

歸納一下各類真空泵適用的工藝類型：

　1、水環真空泵：適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

　　2、往復真空泵：適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空干燥、鋼液真空處理等工藝。往復真空泵與水環真空泵的使用工藝基本相同。但是，往復真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統冷卻。

　　3、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：適用于真空蒸餾、真空干燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵作為直排大氣的真空泵，使用的量大面廣。

　　4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：適用于真空燒結、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝。決大多數羅茨泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣，主要用于造紙工業。

　　5、油增壓泵：適用于真空冶煉、真空燒結、真空釬焊、真空熱處理等工藝。它與機械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵使用。

　　6、油擴散泵：適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生產電真空器件、宇宙空間模擬、加速器真空系統等工藝中使用。它適合于抽取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

　　7、干式真空泵(羅桿泵、渦旋泵、爪形泵)：適用于無油清潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝中，這幾種泵都能直排大氣。

　　8、吸附泵：適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。

　　9、鈦泵(濺射離子泵、升華泵)：適用于真空鍍膜、電真空器件、大規模集成電路、表面物理、表面化學、熱核物理、等離子體物理、超導技術等工作中。

　　10、分子泵：適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子體物理、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

　　11、水噴射泵：適合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等工業領域。

　　12、水蒸氣噴射泵：適合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空干燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：適合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航技術等領域中。