多道x射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型(WD)和能量色散型(ED)。波長色散型是由色散元件將不同能量的特征X射線衍射到不同的角度上，探測器需移動到相應的位置上來探測某一能量的射線。而能量色散型，去掉了色散系統，是由探測器本身的能量分辨本領來分辨探測到的X射線的。波長色散型能量分辨本領高，而能量色散型可同時測量多條譜線，目前，能量色散型X射線熒光光譜儀主要用于元素篩選分析。
多道x射線熒光光譜儀具有快速、、無損的特點。多道x射線熒光光譜儀可以應用于任何需要分析Na 以上到U 的元素或化合物成分分析的領域，如：電子電器〔 RoHS 檢測）、珠寶首飾、貴金屬及鍍層檢測）、玩具安全（EN71 一3 ）、建材（水泥、玻璃、陶瓷）、冶金（鋼鐵、有色金屬）、石油（微量元素S 、Pb 等）、化工、地質采礦、商品檢驗、質量檢驗甚至人體微量元素的檢驗等等。是常量分析和微量分析的可靠工具，在大專院校和科研單位也是常備儀器。