實驗室用超純水對水質大都要求比較高，根據不同的應用場合又可分為三個級別用水：一級用水，電阻要求大于10MΩ(電導率低于0.1us/cm),主要用于有嚴格要求的分析試驗，包括對顆粒有要求的試驗。如高壓液相色譜分析用水。一級水常用二級水經過石英設備蒸餾或反滲透及離子交換混合床處理后，再經過0.2μm微孔濾膜過濾來制取。二級用水，電阻要求大于1MΩ(電導率低于1us/cm),主要用于無機痕量分析等試驗，如原子吸收光譜分析用水。二級水可用多次蒸餾或反滲透及離子交換等方法制取。三級用水，三級水用于一般化學分析試驗。三級水可用蒸餾或離子交換等方法制取。