掃描電子顯微鏡工作原理
（1）掃描
電子槍產生的高能電子束入射到樣品的某個部位時，在相互作用區內發生彈性散射和非彈性散射事件，從而產生背散射電子、二次電子、吸收電子、特征和連續譜X射線、俄歇電子、陰極熒光等各種有用的信號，利用合適的探測器檢測這些信號大小，就能夠確定樣品在該電子入射部位內的某些性質，例如微區形貌或成分等。
為了研究樣品上更多部位的特征，必須利用掃描系統移動入射電子到樣品上的不同位置。
