氦質譜檢漏是一種靈敏度很高且常用的檢漏技術。螺桿真空泵廠家已經介紹過氦質譜檢漏儀，這次我們來了解下氦質譜檢漏時的誤差來源有哪些，以便更好地降低或消除測量誤差。
氦質譜檢漏時，產生測量誤差的主要來源主要包括8個方面：
第一，氦質譜檢漏儀在校準靈敏度時，標準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導致經二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差。
第二，進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數值而導致無法換算，這時也會產生漏率測量誤差。
第三，所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。
第四，氦質譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關系差。
第五，校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。
第六，檢漏儀的性能不穩定。
第七，氦氣純度不穩定或存在誤差。
第八，最后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質、責任心、技術水平以及工作經驗等。