1821年，德國的塞貝克發現熱電效應；同年，英國的戴維發現金屬電阻隨溫度變化的規律，這以后就出現了熱電偶溫度計和熱電阻溫度計。1876年，德國的西門子制造出第一支鉑電阻溫度計。很早以前，人們在燒窯和冶鍛時，通常是憑借火焰和被加熱物體的顏色來判斷溫度的高低。據記載，1780年韋奇伍德根據瓷珠在高溫下顏色的變化，來識別燒制陶瓷的溫度，后來又有人根據陶土制的熔錐在高溫下彎曲變形的程度，來識別溫度。輻射溫度計和光學高溫計是20世紀初，維思定律和普朗克定律出現以后，才真正得到實用。從60年代開始，由于紅外技術和電子技術的發展，出現了利用各種新型光敏或熱敏檢測元件的輻射溫度計(包括紅外輻射溫度計)，從而擴大了它的應用領域。