目前的熱導式氣體分析器在低量程方面還有許多不足，不能檢測微量成分，主要是因為傳感器的檢測靈敏度低，受背景氣體影響大。中西遠大采用德國產集成化微加工工藝制造的微型傳感器（MEMS），傳感器的一致性和導熱性能高出幾個數量級，使檢測精度和穩定性大大提高。可以分析多種氣體成分，如H2、CO2、SO2、Ar、NH3、CL2、天然氣、甲烷、氦氣、疝氣等。
