熱電離型質譜計是采用熱表面電離型離子源用作固體同位素分析和化學分析的質譜計。用來測量質譜的儀器稱為質譜儀，可以分成三個部分：離子化器、質量分析器與偵測器。其基本原理是使試樣中的成分在離子化器中發生電離，生成不同荷質比的帶正電荷離子，經加速電場的作用，形成離子束，進入質量分析器。。
