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    發布時間:2018-03-16 10:36 原文鏈接: 電子顯微鏡看到的圖像是怎么樣的?

    我畢業之前在北京電子顯微鏡中心,電子顯微鏡常用的有兩種:掃描電鏡(SEM),透射電鏡(TEM)。另外還有掃描隧道顯微鏡,原子力顯微鏡。

    為什么用電子顯微鏡,電子顯微鏡不是像電子計算機的那種電氣化,而是用電子打在樣品上,用電子束成像。這主要是因為電子的波長小,光的波長在400到700納米量級,而電子的波長公式是 lambda=h/(mv),一般用的電壓是80kV 到 300kV,電子的波長就是在0.01納米左右,和原子的大小接近。更短波長的好處,是可以觀測到更小尺寸的東西,否則會因為波的衍射和干涉無法分辨。

    通常看到的生物樣品,和高倍昆蟲圖片,是用掃描電鏡拍到的,實際上這是電子顯微鏡中放大倍數最低的,純科普的。這些其實還可以用光學顯微鏡看。我們說的「顏色」是可見光的顏色,對于電子來說,它不是光,因此沒有顏色一說。所以樓主說的用電子顯微鏡看葉綠體,你說是什么顏色呢?

    掃描電子顯微鏡目前最廣泛的用途是看電子元件,像CPU現在都是25納米制程,這些的檢查都是用高分辨率的掃描電鏡。還有一些生物樣品,比如骨頭斷面組織之類也會用到掃描電鏡。還有納米線的形貌像(外觀)。

    (蘋果A6處理器的掃描電鏡截面圖)透射電鏡顧名思義,就是電子要透過樣品,在后面成像。所以可以想見樣品要非常薄,減薄到幾個納米,在邊緣更薄,否則就是一片漆黑了。但是其實電子束在200kV下面還是很有穿透性的,是可以穿透金屬和各種材料的,所以他的終極意義就是看到「原子」。加引號,是因為我們不能真正看到原子,只能看到「原子柱」。而且有時候內部結構復雜,看到的圖像也是多種因素造成的結果,但總的來說是最接近看到原子的成像了。
    (Intel Ivy Bridge Xeon 處理器中的半導體結構,TEM成像 )


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