離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應用數量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導體材料、大規模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。
中文名：離子注入機
外文名:Ion implanter
屬 性:加速器應用領域金屬表面改性、集成電路制造等
