1、 硅片水平運行，機片高（等離子刻蝕去PSG槽式浸泡甩干，硅片受沖擊小）；
2、下料吸筆易污染硅片（等離子刻蝕去PSG后甩干）；
3、傳動滾軸易變形（PVDF，PP材質且水平放置易變形）；
4、成本高（化學品刻蝕代替等離子刻蝕成本增加）。
