消泡劑具有代表性的聚硅氧烷消泡機理主要有“架橋-鋪展”機理、“架橋-脫濕”機理、“鋪展-液體夾帶”機理等。“架橋-鋪展”機理主要從“聚硅氧烷自身張力比較低，容易在液膜上鋪展”這一基本點出發，它強調的是消泡劑液滴易變形，但是這種理論不能解釋單獨的聚硅氧烷與聚硅氧烷和固體離子混合物作為消泡劑時之間的消泡差異。“架橋-脫濕”機理主要是從聚硅氧烷自身具有疏水性的角度出發，但對于粘度很大的聚硅氧烷的消泡作用就不能很好的解釋。“鋪展-液體夾帶”機理尚不能被證實，因為有些事實表明聚硅氧烷有時候并沒有在泡膜表面鋪展，可是同樣可以破泡。