自動拼圖軟件（AIM）在SEM大景深樣品拍攝中的應用

自動拼圖（Automated Image Mapping）軟件（圖1）選件是飛納電鏡的又一功能強大的實用軟件。其主要優勢總結如下：

• 大范圍內自動收集多張圖片

• 生成大面積視野的圖片

• 自動生成高分辨率、高清晰度大圖

• 操作簡單，“選擇區域”然后“掃描”即完成

以下舉例說明其各個優勢及其應用場合：

• 大范圍多張圖片的收集對于ParticleMetric顆粒系統、PoroMetric 孔洞系統的作用

下圖2(a) 是顆粒樣品的AIM拼圖結果，這張圖的分辨率達到了9631×6683，占用空間達到了31.8Mb，采用70張圖拼成，單張圖片的效果見圖2(b)。此圖只需要選好區域之后，軟件自動生成即可。顆粒系統和孔洞系統軟件可以把 AIM 的結果全部導入，一次zui多自動處理1000張圖片，統計顆粒或孔洞的的直徑、圓度等數據，自動生成統計報告。