在掃描電鏡(SEM)中,通過記錄和實時處理電子束輻照樣品過程中產生的吸收電流La,評價非導電樣品的荷電效應.對于非導電樣品,La的絕對值很小,且變化幅度很大,這是電荷在非導電樣品表面被捕獲、積累和釋放過程的直接反映.此外,La還可用來評價荷電補償(改變環境壓力、改變成像參數及對樣品表面進行導電處理)的效果.
第四節 各種信號與襯度的總結前面兩節詳細的介紹了掃描電鏡中涉及到的各種電子信號、電流信號、電磁波輻射信號和各種襯度的關系，下面對常見的電子信號和襯度做一個總結，如圖2-36和表2......
