靈敏度（sensibility）
質譜儀的靈敏度通常用原子離子的轉換效率來定義，即用接收器接收到的離子數去除以進入離子源電離區域的樣品原子總數之比的百分數；質譜儀的絕對靈敏度通常用接收器檢測到的離子最小量度量；定量測量方法的靈敏度記為方法流程空白值標準偏差的3倍。取決于離子源的電離效率，離子在離子源、分析器的傳輸效率和接收器的接收效率。
