選區電子衍射的原理

選區電子衍射的原理?

 為了得到晶體中某一個微區的電子衍射花樣，一般用選區衍射的方法，將選區光闌放置在物鏡像平面（中間鏡成像模式時的物平面），而不是直接放在樣品處。? 選區電子衍射借助設置在物鏡像平面的選區光闌，可以對產生衍射的樣品區域進行選擇，并對選區范圍的大小加以限制，從而實現形貌觀察和電子衍射的微觀對應。選區電子衍射的基本原理[4]見圖4-1。選區光闌用于擋住光闌孔以外的電子束，只允許光闌孔以內視場所對應的樣品微區的成像電子束通過。使得在熒光屏上觀察到的電子衍射花樣，它僅來自于選區范圍內的晶體的貢獻。實際上，選區形貌觀察和電子衍射花樣不能完全對應，也就是說選區衍射存在一定誤差，所選區域以外樣品晶體對衍射花樣也有貢獻。因此，選區范圍不宜太小，否則將帶來太大的誤差。對于100kV的透射電鏡，最小的選區衍射范圍約0.5μm；加速電壓為1000kV時，最小的選區范圍可達0.1μm