透射電子顯微鏡對衍射圖樣點對點的分析

　　對衍射圖樣點對點的分析非常復雜，這是由于圖像與樣品的厚度和方向、物鏡的失焦、球面像差和色差等等因素都有非常密切的關系。盡管可以對格點圖像對比度進行定量的解釋，然而分析本質上非常復雜，需要大量的計算機仿真來計算。

　　衍射平面還有更加復雜的表現，例如晶體格點的多次衍射造成的菊池線。在會聚電子束衍射技術中，會聚電子束在樣品表面形成一個極細的探針，從而產生了不平行的會聚波前，而匯聚電子束與樣品的作用可以提供樣品結構以外的信息，例如樣品的厚度等等。