抽真空
接通總電源，打開冷卻水，接通抽真空開關，真空系統就自動的抽真空。一般經 15～2 0 m i n 后，真空度即可達到 10－4～ 10－5 T o r r，持高真空指示燈亮后即可上機工作。
加電子槍高壓
接通鏡筒內的電源，給電子槍和透鏡供電，由低至高速級給電子槍加高壓，直至所需值。
照相記錄
當熒光屏上的圖象聚．焦至最清晰時，便可進行照相記錄。調節圖象亮度和相應的暖個時間。當二者配匹得當（曝光表上綠燈亮時），拉開曝光快門，將熒光屏翻起，讓攜帶樣品信息的電子束照射到膠片上使其感光，正常曝光時間以4～8S 為宜。
停機
順序地關斷燈絲電源、關斷高壓、鏡筒內的電源、關斷抽真空開關、約30min 后關斷總電源和冷卻水。