通過掃描電鏡成像觀察不同的微結構

通過掃描電鏡成像觀察不同的微結構

通過調整一些蝕刻參數，例如時間(如圖3所示的SEM圖像)和KOH濃度(如圖4所示)，可以制作出不同形狀的微結構。

在*種情況下，溫度影響到微金字塔的高度和墻壁結構。通過改變濃度，微觀結構的形狀從正方形變為八角形，方角變為了圓形。

圖3: 通過 SEM 對在不同時間段KOH 蝕刻用殘馀層作為掩模的成像

圖4: 通過SEM 圖像了解不同濃度的 KOH蝕刻用殘留層作為掩模

從圖2、圖3和圖4中可以看出，掃描電鏡 (SEM) 非常適合對微觀結構進行成像。它有助于了解單個因素及其在整個蝕刻過程中的影響，從而有助于構建微結構的形狀和尺寸。在全球范圍內，SEM提供了一種強大的方法來獲得視覺表征，并通過調整制造技術的參數 (在本例中是KOH蝕刻) ，來證明微結構的質量差異性。