XRF即 X射線熒光光譜分析(X Ray Fluorescence)；
不同元素發出的特征X射線能量和波長各不相同，因此通過對X射線的能量或者波長的測量即可知道它是何種元素發出的，進行元素的定性分析。同時樣品受激發后發射某一元素的特征X射
線強度跟這元素在樣品中的含量有關，因此測出它的強度就能進行元素的定量分析。
因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：
波長色散型（WDXRF）和能量色散型（EDXRF)。
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