“ICPMS”和“ICPOES”的在用途和工作原理上有區別。
1.兩者用途不一樣 。ICP-MS：測量的是離子質譜，ICP-OES是用來分析元素的發射光譜儀。
2. 兩者工作的原理不同。 ICP-OES：電感耦和等離子體光學發射光譜，原子光譜屬于價電子能級躍遷，范圍主要覆蓋真空紫外到亞近紅外，這個范圍內的光信號可以用光學部件，如透鏡、反射鏡處理，故稱光學光譜。
與光學光譜相對的是X射線光譜 ICP-MS是一個以質譜儀作為檢測器的等離子體，ICP-AES和ICP-MS的進樣部分及等離子體是極其相似的。提供在3～250amu范圍內每一個原子質量單位（amu）的信息。
ICPMS的基本原理和ICPMS起源：
ICP-MS儀器所使用的等離子體除了方位和線圈接地方式外，與發射光譜中使用的基本相同。所使用的質量分析器、離子檢測器和數據采集系統又與四極桿GC-MS儀器相類似。質量分析器多采用四極桿質譜計，也有采用具有高分辨的雙聚焦扇形磁場質譜計、飛行時間質譜計等。
ICP-MS技術是80年代發展起來的新的分析測試技術。它以將ICP的高溫（8000K）電離特性與四極桿質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種新型的最強有力的元素分析、同位素分析和形態分析技術。