X光電子能譜儀是一種用于能源科學技術領域的分析儀器，于2010年10月1日啟用。
技術指標
最佳能量分辨率 < 30 μm，最佳能量分辨率 < 0.5 eV FWHM，C1s能量分辨率< 0.85 eV，離子源能量范圍：100 eV至3 keV，最大束流：4 μA，在烘烤完成24小時后，分析室最佳真空：5×10-9 mbar。
主要功能
測量固體材料表面元素種類、含量及價態，以及樣品離子濺射后元素分析。
