X射線熒光光譜儀（XRF）基本結構

現代X射線熒光光譜分析儀由以下幾部分組成;X射線發生器(X射線管、高壓電源及穩定穩流裝置)、分光檢測系統（分析晶體、準直器與檢測器)、記數記錄系統（脈沖輻射分析器、定標計、計時器、積分器、記錄器)。