自1895 年德國物理學家倫琴（Renten W C)發現了 X 射線。1896年法國物理學家喬治(G eorgs S)發現了X 射線熒光，1948年弗利德曼(Friedm an H )和伯克斯(]3irks L S)首先研制了第一臺商品性的波長色散 X 射線熒光光譜儀以來，X 射線熒光光譜分析技術發展迅速。 [1] 尤其是 2O 世紀 9O 年代以來。隨著電子技術和計算機的飛速發展，x 射線熒光光譜儀和X 射線熒光分析技術及其計算機軟件的不斷開發，X 射線熒光光譜儀現已由單一的波長色散 X 射線熒光光譜儀發展成擁有波長色散、能量色散、電子探針、全反射、同步輻射和質子 X 射線光譜儀等一大家族。