X射線伴峰和鬼峰

能量比特征X射線更高的次要輻射成分使光電子動能增大，將在主峰低結合能處產生與主峰保持一定距離、并與主峰有一定強度比例的伴峰，稱為X射線伴峰。

在靶材有雜質、污染或氧化等非正常情況下，其他元素的X射線也會激發光電子，從而在距正常光電子主峰一定距離處出現光電子峰，稱為X射線鬼峰。